3M Liqui-Cel EXF-10x28系列工业膜接触器脱气膜案例1：集成电路制造EDI产水脱气应用

 

3M Liqui-Cel EXF-10x28系列工业膜接触器脱气膜案例1：集成电路制造EDI产水脱气应用

集成电路制造EDI电除盐产水是超纯水系统核心环节，产水中溶解二氧化碳会影响EDI模块运行效率，降低超纯水纯度，某集成电路制造企业针对超纯水EDI系统，采用3M Liqui-Cel EXF-10x28系列工业膜接触器脱气膜，搭建EDI产水脱气单元，提升超纯水系统整体性能。3M Liqui-Cel EXF-10x28系列工业膜接触器脱气膜为10×28工业级专用膜接触器，适配6-8m³/h EDI产水流量，可快速脱除水中溶解二氧化碳与微量氧气，脱碳后二氧化碳含量≤0.5ppm，降低EDI模块负荷，提升EDI产水电阻率至18.2MΩ·cm，达到半导体级超纯水标准。该脱气膜采用紧凑型设计，可直接安装在EDI模块后端，无需占用大量空间，膜丝抗污堵性能优异，适配EDI产水高纯度工况，无杂质析出，不污染超纯水，运行压力损耗≤0.03MPa，不影响超纯水系统输送压力。3M Liqui-Cel EXF-10x28系列工业膜接触器脱气膜长期运行稳定性强，EDI模块使用寿命延长50%，超纯水系统运维成本降低40%，完美适配集成电路制造超纯水连续稳定供应需求。